Kokusai Electric

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国際電気（東証: 6525）は2018年に日立国際電気からスピンアウトし、2019年にKKRが買収、2023年に東京証券取引所に再上場した。この軌跡は同社の技術の戦略的価値と日本の半導体装置セクターの統合を反映している。 同社はバッチ式熱処理装置を専門とする：縦型拡散炉・バッチ式ALD（原子層堆積）システム・バッチ式CVD（化学気相成長）炉。枚葉式ツール（反応チャンバーで1枚ずつ処理）とは異なり、バッチ炉は25〜100枚のウェハを縦型石英チューブで同時処理し、ウェハ1枚あたりの低コストで極めて均一な薄膜成膜を実現する。 バッチ炉ツールはNANDフラッシュのセル構造やDRAMのキャパシタ誘電体を形成する薄い酸化物・窒化物・高誘電率（High-k）薄膜の成膜に不可欠だ。NANDの層数が64L→176L→232Lと増加するにつれ、ウェハあたりのALD/CVD工程数も比例して増加し、国際電気の1デバイス世代あたりの収益が拡大している。DDR5・HBMへの移行が進むDRAMでも同様のダイナミクスが働く。 国際電気の顧客ベースはSKハイニックス・サムスンメモリ・マイクロン・YMTC・CXMTに及ぶ。中国のメモリファブへの供給により、2023年に米国商務省がYMTCへのバッチ炉ツール供給にエンティティリスト許可証が必要かどうかを検討する際、輸出管理審査の対象となった。同社はこれらの制限を慎重に対処し、旧世代の供給を一部維持しつつ次世代ツールの供給を制限している。 同社はバッチ炉分野でTELおよびアプライドマテリアルズと主に競合するが、縦型バッチALDでは特に強固な地位を持つ。この分野は各顧客のプロセスレシピとの深い統合により切り替えコストが高い。