市場シェア
エッチングの約35%
主要製品
誘電体エッチング・ALD装置
詳細情報▼ 展開
ラムリサーチはエッチングおよび原子層堆積（ALD）装置の主要サプライヤーであり、世界のエッチング市場の約35%を掌握しています。同社のシステムは3D NANDメモリ製造や先進ロジック向けの高アスペクト比コンタクトエッチングなどの重要工程に使用されています。ラムの装置はTSMCの最先端ロジックプロセスや主要メモリメーカーのNANDおよびDRAM生産に不可欠です。米国の輸出規制により、ラムは中国の顧客に最先端エッチング装置を出荷する前に許可証を取得することが求められており、中国での売上に大きな影響を与えています。同社は2nm未満のゲートオールアラウンド時代に必要な新たなエッチング技術の開発も進めています。