Rare Earths (CN)

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希土類元素（REE）は、独自の磁気的・発光的・電気化学的特性を持つ17種類の金属の総称である。半導体製造装置のサプライチェーンで最も重要なのはネオジム（Nd）とジスプロシウム（Dy）で、これらはネオジム鉄ボロン（NdFeB）永久磁石の合金材料として使用される。これらの磁石は、リソグラフィ装置・エッチングチャンバー・CVD装置・計測ツールにおいてウェーハを位置決めする精密直線・回転アクチュエーターを駆動する。EUVスキャナー1台にはNdFeB磁石アセンブリが数百個使用されており、許容誤差はサブナノメートルレベルに達するため、磁石の純度と均質性が直接歩留まりに影響する。 希土類は世界中に存在するが——中国の鉱山生産シェアは世界の約60〜70%——最重要の制約は精製工程にある。希土類酸化物の個別分離には溶媒抽出化学が必要であり、中国は数十年かけてこれを工業化した。精製希土類の中国シェアは約85%で、残りは米国（マウンテンパス）、オーストラリア（ライナス）などの少数の生産者が担う。磁石用Nd-Dy合金インゴットの生産は一段と集中しており、中国が世界供給量の90%超を占める。 2023年に中国は希土類の採掘・分離技術に対する輸出許可証制度を導入し、精製供給における既存の支配に加えて規制の層を追加した。これは米国と同盟国の半導体製造装置規制に対する対抗措置と広く解釈されている。ASML、TEL、アプライドマテリアルズ、KLA、ラムリサーチなどの装置メーカーにとって、中国の希土類精製への依存は戦略的リスクであり、オーストラリアの分離施設や米国エネルギー省が資金提供する磁石リサイクルプログラムへの投資加速を促している。