Kokusai Electric

详细简报

国际电气株式会社（东证: 6525）2018年从日立国际电气拆分独立，2019年被KKR收购，2023年在东京证券交易所重新上市——这一轨迹既反映了其技术的战略价值，也体现了日本半导体设备行业的整合趋势。 公司专注于批量热处理设备：立式扩散炉、批量ALD（原子层沉积）系统和批量CVD（化学气相沉积）炉。与单片工具（每次在反应腔中处理一片晶圆）不同，批量炉在立式石英管中同时处理25–100片晶圆，以极低的每片成本实现极其均匀的薄膜沉积。 批量炉工具对于沉积构成NAND闪存单元结构和DRAM电容介电质的薄氧化物、氮化物和高介电常数薄膜至关重要。随着NAND层数从64层增加到176层、232层及更高，每片晶圆的ALD/CVD步骤数也相应增加，提升了公司每个器件世代的收入。随着行业向DDR5和HBM迁移，DRAM领域也呈现同样的动态。 国际电气的客户群涵盖SK海力士、三星存储、美光、长江存储和长鑫存储。由于向中国存储芯片工厂供货，2023年美国商务部在考虑向长江存储供应批量炉工具是否需要实体清单许可证时，公司受到出口管制审查。公司谨慎应对这些限制，维持部分传统供货的同时限制下一代工具的供应。 公司在炉类设备领域主要与东京电子和应用材料竞争，但在立式批量ALD方面占据特别强的地位——这一细分市场因与各客户工艺配方的深度整合而具有高转换成本。