Neon Gas (High-Purity)

详细简报

氖气是工业空气分离（主要发生在处理大量空气以提取氧气和氮气的大型钢铁厂）中回收的微量惰性稀有气体副产品。半导体级氖气在混入ArF准分子光刻系统的激光气体混合物之前，必须达到99.999%或以上的纯度。 在深紫外（DUV）光刻中，ArF准分子激光器发射193nm光，用于曝光14nm至7nm节点（多重图案化可至5nm）的晶圆光刻胶。激光气体混合物主要为氖气（约95–97%），含少量氩气和氟气。每个激光腔在运行过程中连续消耗和补充这种气体混合物。大批量半导体晶圆厂每年可消耗数百公斤高纯氖气。 2022年前，乌克兰两家公司——Ingas（马里乌波尔）和Cryoin Engineering（敖德萨）——合计供应全球估计45–70%的半导体级氖气，利用的是乌克兰大型钢铁工业富含氖气的尾气。2022年2月俄罗斯对乌克兰的全面入侵立即关闭了马里乌波尔工厂，并使敖德萨工厂面临风险，引发了供应冲击，几周内氖气现货价格飙升超过500%。 这场危机催化了美国（Air Products、Linde、Messer）、德国和其他国家对替代氖气纯化产能的快速投资。至2023年底，供应多元化已大幅降低单一国家风险，尽管对于尚未完全重新认证替代供应商的晶圆厂而言，乌克兰来源的氖气仍占市场相当份额。ASML的DUV系统——全球5nm至28nm之间生产的绝大多数芯片依赖于此——仍是半导体级氖气的主要需求驱动力。