市场份额
晶圆清洗设备约20%
核心产品
单片式和批量湿法清洗系统
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SCREEN控股有限公司(东证: 7735)总部位于日本京都,是全球领先的晶圆清洗和表面处理设备制造商之一。公司1943年以大日本网屏制造名义成立,2014年更名为SCREEN控股。其半导体设备部门主要与东京电子(TEL)和SEMES(三星子公司)在晶圆清洗领域竞争。 晶圆清洗是半导体制造中最频繁执行的操作之一。一块现代先进逻辑芯片需要超过1000个单独工艺步骤,其中约30–40%涉及清洗或表面处理步骤。清洗在每个沉积、刻蚀或注入步骤之间去除颗粒、有机残留物、金属污染物和自然氧化物,以防止缺陷积累。 SCREEN的旗舰产品线包括SU-3200单片旋转清洗机和CELLESTA批量浸泡系统。单片方式(每次处理一片晶圆,在旋转腔体中用化学品和去离子水喷淋)在颗粒预算极为严苛的先进节点占主导地位。批量系统在成熟节点保持成本效益。 公司的设备使用高纯石英工艺管和槽体,将SCREEN与云杉松石英供应链直接连接。日本外汇及对外贸易法(FEFTA)将SCREEN的先进清洗工具归类为受控商品,向包括中国在内的特定目的地出口需要政府许可。 SCREEN在日本、台湾、韩国和美国设有制造和服务中心,与主要客户的预防性维护和工艺配方生态系统深度整合,产生高转换成本,巩固其市场地位。
关键路径 — 从原料硅到部署
原材料
High-Purity Quartz (US) ▲
熔融石英坯料和石英工艺管
设备
SCREEN Holdings
单片式和批量湿法清洗系统
晶圆代工
TSMC ▲
CoWoS先进封装、N3/N2逻辑
晶圆代工
UMC
28nm HKMG、40nm、特殊工艺节点