市場份額
晶圓清洗設備約20%
核心產品
單片式和批量濕法清洗系統
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SCREEN控股有限公司(東證: 7735)總部位於日本京都,是全球領先的晶圓清洗和表面處理設備製造商之一。公司1943年以大日本網版製造名義成立,2014年更名為SCREEN控股。其半導體設備部門主要與東京電子(TEL)和SEMES(三星子公司)在晶圓清洗領域競爭。 晶圓清洗是半導體製造中最頻繁執行的操作之一。一塊現代先進邏輯晶片需要超過1000個單獨製程步驟,其中約30–40%涉及清洗或表面處理步驟。清洗在每個沉積、蝕刻或注入步驟之間去除顆粒、有機殘留物、金屬污染物和自然氧化物,以防止缺陷積累。 SCREEN的旗艦產品線包括SU-3200單片旋轉清洗機和CELLESTA批量浸泡系統。單片方式(每次處理一片晶圓,在旋轉腔體中用化學品和去離子水噴淋)在顆粒預算極為嚴苛的先進節點佔主導地位。批量系統在成熟節點保持成本效益。 公司的設備使用高純石英製程管和槽體,將SCREEN與Spruce Pine石英供應鏈直接連接。日本外匯及對外貿易法(FEFTA)將SCREEN的先進清洗工具歸類為受控商品,向包括中國在內的特定目的地出口需要政府許可。 SCREEN在日本、台灣、韓國和美國設有製造和服務中心,與主要客戶的預防性維護和製程配方生態系統深度整合,產生高轉換成本,鞏固其市場地位。
關鍵路徑 — 從原料矽到部署
原材料
High-Purity Quartz (US) ▲
熔融石英坯料和石英製程管
設備
SCREEN Holdings
單片式和批量濕法清洗系統
晶圓代工
TSMC ▲
CoWoS先進封裝、N3/N2邏輯
晶圓代工
UMC
28nm HKMG、40nm、特殊製程節點