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高純度氖氣是氟化氬(ArF)準分子雷射器中的關鍵氣體,這些雷射器產生DUV光刻機在14nm至5nm節點晶片生產中使用的193nm深紫外光。烏克蘭歷史上提供了全球約70%的半導體級氖氣;2022年入侵事件引發了緊急供應鏈應對,加速了向美國和歐洲生產商的多元化。
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